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碳化硅外延技術規范

文章作者:poshing 上傳更新:2021-05-31
型號 4英寸N型 6英寸N型
厚度 120微米及以下 120微米及以下
濃度區間 2E14-1E19 cm-3 8E14-1E19 cm-3
濃度均勻性 ≤8% ≤8%
厚度均勻性 ≤2% ≤2%

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