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產品服務

1、CMOS,分立器件,功率器件, GeSi和埋層等外延
2、外延片直徑:76、100、125、150、200 mm
3、月生產能力10萬片以上(6英寸外延片)
4、10級潔凈廠房
5、外延爐:
     LPE3061
     LPE2061s
     CSD EpiPro 5000
     ASM Epsilon2000
     Rexon 2
6、硅源:
     三氯氫硅
     二氯氫硅
     硅烷
7、摻雜源:
     B2H6
     PH3
     AsH3
8、生長模式:
     常壓
     減壓
9、客戶特定參數
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